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非氧化物陶瓷產品

碳化矽 (SiC)
碳化矽單晶基板 無軸封泵浦元件 碳化矽基板
     
氮化矽 (Si3 N4) 氮化硼 (BN) 氮化鋁(ALN)
氮化矽材料 氮化硼蒸發舟 氮化鋁基板


材料 主要用途
 碳化矽 (SiC)  LED製造排程上使用的基板及碟型基座
 無軸封泵浦元件
 噴嘴
 氮化矽 (Si3 N4)  氮化矽滾珠軸承
 化學工業用球閥元件
 氮化硼 (BN)  蒸發舟(金屬薄膜蒸鍍用)


材料特性比較表
性質 單位 碳化矽 氮化矽 氮化硼 氮化鋁
SiC Si3 N4 BN AlN
密度 g/cm 3 3 2 3
熱傳導率 W/m・K 126 27 30 160
熱膨脹係數 10-6 /℃ 4 2 2 4
比熱 J/㎏*°K 700 700 1850 730
彈性係數 Gpa 410 310 62 340
抗拉強度 MPa 400 524 41 400
抗壓強度 MPa 3900 2500 143 2070
抗折強度 MPa 550 780 73 350
熔點或分解點 2700 1900 2600 2400


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